一：
問題1：組建真空系統的過程
氣相沉積爐答：組建真空系統的過程中，要使真空系統達到最佳的使用性能，除了需要做精心的真空泵選型工作外，還需要考慮普諾克真空系統的管路建設。
三 ：
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